Модуль фронтэнда для пластин (300 мм)BROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Модуль фронтэнда для пластин (300 мм)
BROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Фиксированная цена без учета НДС
59 750 €
Год выпуска
2010
Состояние
Бывшее в употреблении
Местонахождение
Dresden 

Данные о машине
- Наименование машины:
- Модуль фронтэнда для пластин (300 мм)
- Производитель:
- BROOKS ASYST
- Модель:
- Spartan EFEM Sorter
- Год выпуска:
- 2010
- Состояние:
- б/у
Цена и местонахождение
Фиксированная цена без учета НДС
59 750 €
- Местонахождение:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

Позвонить
Детали предложения
- Код объявления:
- A20798077
- Референс-номер:
- LW43278
- Обновление:
- в последний раз 05.01.2026
Описание
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300 мм, ASYST Spartan EFEM, Сортировщик
Модель: ASYST Spartan EFEM
Тип: Сортировщик
Состояние: Б/у
Hnodpfx Ajx I Ax Sephsl
Технические данные:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Общая информация:
EFEM-модуль для 300-мм пластин с 3 загрузочными портами, мини-чистым пространством и интегрированным роботом для переноса пластин.
Данное устройство представляет собой фронтальный модуль оборудования (EFEM) серии ASYST Spartan, разработанный для полностью автоматизированной обработки 300-мм кремниевых пластин в производстве полупроводников.
Модуль оснащён тремя загрузочными портами, мини-чистым пространством с ULPA-фильтрами, внутренней подсветкой, комплексной системой управления безопасностью, а также всеми необходимыми интерфейсами для интеграции в производственную линию.
Кроме того, имеется полностью интегрированный робот для переноса пластин, который извлекает пластины из загрузочных портов FOUP/кассет, разделяет их и точно передаёт в последующие процессные модули.
Год выпуска: 27.12.2010
В комплекте CD с руководствами по эксплуатации, обслуживанию и установке (9701-3060-01 Rev G)
Объявление было переведено автоматически. Возможны ошибки перевода.
Модель: ASYST Spartan EFEM
Тип: Сортировщик
Состояние: Б/у
Hnodpfx Ajx I Ax Sephsl
Технические данные:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Общая информация:
EFEM-модуль для 300-мм пластин с 3 загрузочными портами, мини-чистым пространством и интегрированным роботом для переноса пластин.
Данное устройство представляет собой фронтальный модуль оборудования (EFEM) серии ASYST Spartan, разработанный для полностью автоматизированной обработки 300-мм кремниевых пластин в производстве полупроводников.
Модуль оснащён тремя загрузочными портами, мини-чистым пространством с ULPA-фильтрами, внутренней подсветкой, комплексной системой управления безопасностью, а также всеми необходимыми интерфейсами для интеграции в производственную линию.
Кроме того, имеется полностью интегрированный робот для переноса пластин, который извлекает пластины из загрузочных портов FOUP/кассет, разделяет их и точно передаёт в последующие процессные модули.
Год выпуска: 27.12.2010
В комплекте CD с руководствами по эксплуатации, обслуживанию и установке (9701-3060-01 Rev G)
Объявление было переведено автоматически. Возможны ошибки перевода.
Поставщик
Примечание: Зарегистрируйтесь бесплатно или войдите в систему, чтобы получить доступ ко всей информации.
Регистрация: 2014
99 Объявления онлайн
Отправить запрос
Телефон & Факс
+49 351 8... объявления
Ваше объявление было успешно удалено
Произошла ошибка


































