Модуль фронтэнда для пластин (300 мм)
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Фиксированная цена без учета НДС

59 750 €

Год выпуска

2010

Состояние

Бывшее в употреблении

Местоположение

Dresden

Модуль фронтэнда для пластин (300 мм) BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Показать карту

Данные о машине

Описание оборудования:: Модуль фронтэнда для пластин (300 мм)

Производитель:: BROOKS ASYST

Модель:: Spartan EFEM Sorter

Год выпуска:: 2010

Состояние:: б/у

Цена и местонахождение

Фиксированная цена без учета НДС

59 750 €

Местоположение:: Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

Звонок

Детали предложения

Код объявления:: A20798077

Справочный номер:: LW43278

Последнее обновление:: в 05.01.2026

Описание

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300 мм, ASYST Spartan EFEM, Сортировщик

Модель: ASYST Spartan EFEM
Тип: Сортировщик
Состояние: Б/у

Технические данные:
100-240V AC
50/60Hz
10A

Blsdpex I Ax Sofx Ab Hsd
Общая информация:
EFEM-модуль для 300-мм пластин с 3 загрузочными портами, мини-чистым пространством и интегрированным роботом для переноса пластин.

Данное устройство представляет собой фронтальный модуль оборудования (EFEM) серии ASYST Spartan, разработанный для полностью автоматизированной обработки 300-мм кремниевых пластин в производстве полупроводников.
Модуль оснащён тремя загрузочными портами, мини-чистым пространством с ULPA-фильтрами, внутренней подсветкой, комплексной системой управления безопасностью, а также всеми необходимыми интерфейсами для интеграции в производственную линию.
Кроме того, имеется полностью интегрированный робот для переноса пластин, который извлекает пластины из загрузочных портов FOUP/кассет, разделяет их и точно передаёт в последующие процессные модули.

Год выпуска: 27.12.2010
В комплекте CD с руководствами по эксплуатации, обслуживанию и установке (9701-3060-01 Rev G)

Объявление было переведено автоматически, в связи с чем могут иметь место некоторые ошибки перевода.